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冷場(chǎng)掃描電鏡與熱場(chǎng)掃描電鏡的區(qū)別介紹

日期:2024-03-04 09:56:54 瀏覽次數(shù):194

冷場(chǎng)掃描電鏡與熱場(chǎng)掃描電鏡的區(qū)別主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

適用范圍:冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主要應(yīng)用于材料科學(xué)和化學(xué)領(lǐng)域,而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡則廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)技術(shù)等領(lǐng)域。因此,熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的使用范圍相對(duì)更廣。

技術(shù)指標(biāo):冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的分辨率在15kV時(shí)可以達(dá)到1.0nm,放大倍率范圍在×20到×800,000,加速電壓在0.5到30kV之間。而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的放大倍數(shù)通常在35到90萬倍之間,分辨率在15kV時(shí)也可以達(dá)到1.0nm,加速電壓范圍在0.2kV到30kV之間。此外,熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的能譜探測(cè)元素范圍更廣,能量分辨率也更高。

臺(tái)式掃描電鏡ZEM15.jpg

主要功能:冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主要側(cè)重于超顯微、形貌與成分分析相結(jié)合的功能。而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡則更多地應(yīng)用于物理學(xué)、材料科學(xué)和能源科學(xué)技術(shù)等領(lǐng)域的研究。

環(huán)境要求:冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡對(duì)真空條件的要求較高,束流不穩(wěn)定,發(fā)射體使用壽命較短,需要定時(shí)對(duì)針尖進(jìn)行清洗,因此其應(yīng)用范圍相對(duì)有限。而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡則可以連續(xù)工作較長(zhǎng)時(shí)間,并且可以與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析,因此其應(yīng)用更為廣泛。

維護(hù)成本:冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的維護(hù)成本相對(duì)較低,維護(hù)要求也不算高。而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的維護(hù)成本相對(duì)較高,維護(hù)要求也更高。

綜上所述,冷場(chǎng)掃描電鏡與熱場(chǎng)掃描電鏡在適用范圍、技術(shù)指標(biāo)、主要功能、環(huán)境要求以及維護(hù)成本等方面存在明顯的區(qū)別。具體選擇哪種類型的掃描電鏡需要根據(jù)研究需求和實(shí)驗(yàn)條件進(jìn)行綜合考慮。

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