掃描電鏡是利用物理學(xué)上的隧道效應(yīng)及隧道電流的一種儀器。隧道效應(yīng)是指金屬中部分能量低于表面勢(shì)壘的自由電子能夠穿透金屬表面勢(shì)壘，形成金屬表面上的“電子云”的效應(yīng)。隧道電流是指當(dāng)兩種金屬靠得很近時(shí)（幾納米以下），兩種金屬的電子云將互相滲透，當(dāng)加上適當(dāng)?shù)碾妷簳r(shí)，即使兩種金屬并未真的接觸，也會(huì)有電流由一種金屬流向另一種金屬。

sem掃描電鏡電子槍發(fā)射出來的電子束，在加速電壓的作用下，經(jīng)過電磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成一個(gè)細(xì)的電子束斑聚焦在樣品表面，末級(jí)透鏡上裝有的掃描線圈可控制電子束在樣品表面掃描，同時(shí)高能電子束作用在樣品表面會(huì)激發(fā)出各種信號(hào)，主要包括：二次電子、背散射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極熒光和透射電子等。

這些信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度，電子束打到樣品上一點(diǎn)，在顯像管熒光屏上就出現(xiàn)一個(gè)亮點(diǎn)，掃描電鏡就是這樣采用逐點(diǎn)成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào)，從而使我們?cè)跓晒馄辽嫌^察到樣品表面的各種特征圖像。

sem掃描電鏡的照片上要有比例尺（標(biāo)尺），才好計(jì)算它的放大倍數(shù)。所以在拍攝照片時(shí)要顯示比例尺。用尺子量一下比例尺的長度，再除以比例尺上標(biāo)注的刻度值，就是該照片的放大倍數(shù)了。比如，用尺子量比例尺線段的長度為20mm，比例尺上標(biāo)注為2um，則放大倍數(shù)為20000／2＝10000倍。

現(xiàn)在，有些電鏡的圖像聯(lián)同一些參數(shù)一起存儲(chǔ)，這樣可以調(diào)出這些參數(shù)來觀察，一般應(yīng)記錄放大倍數(shù)、加速電壓等信息。但此時(shí)要注意它所記錄的是照片放大倍數(shù)還是屏幕放大倍數(shù)，如果你現(xiàn)在看的照片和它存儲(chǔ)情況不一樣，那就要進(jìn)行修正了。屏幕顯示的不是真實(shí)的放大倍數(shù)，需要計(jì)算得出放大倍數(shù)。